在高流量氧療儀使用過程中，通過脈搏血氧飽和度儀持續監測,正常情況下，該產品維持在百分之95-99。如果治療前患者存在低氧血癥，經過高流量氧療后，血氧飽和度監測逐漸上升并穩定在正常范圍，這表明氧療在改善氧合方面是有效的。
　　測量動脈血氧分壓、二氧化碳分壓等指標，對于呼吸衰竭患者，尤其是Ⅰ型呼吸衰竭，高流量氧療的目標是提高血氧。一般來說，治療后較治療前顯著升高，如從治療前的低于60 mmHg上升到60 mmHg以上，提示氧療對改善氧合有積極作用。同時，觀察變化，對于有二氧化碳潴留風險的患者，確保無明顯升高，維持在患者的高流量氧療儀正常耐受范圍。
　　高流量氧療儀對呼吸功能的改善往往伴隨著呼吸頻率的改變。在治療前，患者可能因缺氧而出現呼吸急促（呼吸頻率加快），使用高流量氧療儀后，如果呼吸頻率逐漸減慢并趨于正常范圍（成人正常呼吸頻率為12-20次/分鐘），這是氧療改善呼吸功能的一個表現。例如，一個肺炎患者治療前呼吸頻率為30次/分鐘，經過治療后，呼吸頻率逐漸下降到20次/分鐘左右，說明高流量氧療儀有效減輕了患者的呼吸困難癥狀，降低了呼吸做功。

　　觀察高流量氧療過程中是否出現并發癥，如鼻黏膜干燥、鼻出血、面部皮膚損傷（與固定裝置有關）等。較低的并發癥發生率表明高流量氧療儀在使用過程中對患者造成的不良影響較小，患者更易于接受和耐受，間接反映了較好的臨床效果。